|
Научная визуализация
| Год выпуска: | 2016 |
| Квартал: | 3 |
| Том: | 8 |
| Номер: | 3 |
| Страницы: | 28 - 41 |
|
| Название публикации: |
ВИЗУАЛИЗАЦИЯ ТЕКСТУРЫ СВЕРХГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ С ПРИМЕНЕНИЕМ МЕТОДА ФЛИККЕР-ШУМОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ |
| Авторы: |
Н.И. Каргин (Россия), А.С. Гусев (Россия), С.М. Рындя (Россия), А.Д. Бакун (Россия), А.Е. Иешкин (Россия), А.А. Акованцева (Россия), П.И. Мисуркин (Россия), С.Г. Лакеев (Россия), И. Матющенко (Россия), С.Ф. Тимашев (Россия) |
| Адреса авторов: |
Н.И. Каргин
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва, Россия
А.С. Гусев
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва, Россия
С.М. Рындя
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва, Россия
А.Д. Бакун
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва, Россия
А.Е. Иешкин
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Москва, Россия
А.А. Акованцева
Институт фотонных технологий ФНИЦ «Кристаллография и фотоника РАН», Москва, Россия
П.И. Мисуркин
Институт химической физики им. Н.Н. Семенова РАН, Москва, Россия
С.Г. Лакеев
Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова, Москва, Россия
И. Матющенко
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва, Россия
С.Ф. Тимашев
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва, Россия
Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова, г. Москва |
| Краткое описание: |
В данной статье предложен метод параметризации особенностей нанорельефа сверхгладких поверхностей, используемых в микро- и наноэлектронике в качестве материалов-подложек, а также в качестве светоотражательных элементов технических устройств. Метод основан на использовании фликкер-шумовой спектроскопии (ФШС) как общего феноменологического подхода к извлечению информации из хаотических временных или пространственных сигналов. Согласно ФШС, информация о текстуре поверхности содержится в корреляционных связях составляющих исследуемых сигналов в разных диапазонах пространственных частот – низкочастотных (резонансных) и высокочастотных, представляемых последовательностью нерегулярностей разных типов (всплески, скачки, разрывы производных) на всех уровнях пространственной иерархии структуры исследуемых систем. В качестве модельных объектов, топология поверхности которых исследовалась методом атомно-силовой микроскопии, использовались образцы ситалла до и после ионно-кластерной обработки. Обработка оптической стеклокерамики газовыми кластерными ионами осуществлялась с целью уменьшения шероховатости поверхности. В ходе выполнения исследований установлено, что ионно-кластерная обработка при выбранных режимах воздействия, приводит, во-первых, к сглаживанию дефектов поверхности экспериментальных образцов, мерой которого может служить изменение вводимых 3D параметров поверхности, характеризующих нерегулярности рельефа, и, во-вторых, к «планаризации» поверхности, мерой которой являются величины среднеквадратичных отклонений ФШС параметров. |
| Язык: |
Английский |
|
|
|
